发布单位:北京科创鼎新真空技术有限公司 发布时间:2022-6-12
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:
1. 对储存箱室抽真空;
2. 控制储存箱室恒压稳定;
3. 具备加热烘烤功能;
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;
6. 具备自动和手动两种操作模式;
7. plc控制,触摸屏操作
1. 腔室内尺寸:号宽1050x高200x深700mm 号宽1050x高380x深700mm;
2. ---真空度:2×10-5pa;
3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除---能,±3℃;
4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;
5. 观察窗:每一个箱室均配一个φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;
6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动独立控制工作;
7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。
真空测量装置:采用复合真空计,使测量准确。
加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
使用环境
设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;
电源:380 v±38 v,50 hz±0.5 hz,约15kw(外部电源用户自备);
工件要求:无油污,无腐蚀性物质;
环境温度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
相对湿度: 20%-85%;
设备应安装在通风---的厂房内。