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江苏硅片除气装置报价服务介绍「在线咨询」

发布单位:北京科创鼎新真空技术有限公司  发布时间:2022-6-12

企业视频展播,请---播放视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司










真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:

1. 对储存箱室抽真空;

2. 控制储存箱室恒压稳定;

3. 具备加热烘烤功能;

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;

6. 具备自动和手动两种操作模式;

7. plc控制,触摸屏操作




真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸:号宽1050x高200x深700mm  号宽1050x高380x深700mm;

2. ---真空度:2×10-5pa;

3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除---能,±3℃;

4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;

5. 观察窗:每一个箱室均配一个φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;

6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动独立控制工作;

7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。




真空除气炉的构成介绍

真空测量装置:采用复合真空计,使测量准确。

加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。

真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。

前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。

分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。




真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;

 电源:380 v±38 v,50 hz±0.5 hz,约15kw(外部电源用户自备);

 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;

 环境温度:   5 ℃ ~ 35 ℃;

 相对湿度:  20%-85%;

 设备应安装在通风---的厂房内。





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