发布单位：北京科创鼎新真空技术有限公司 发布时间：2022-6-21
大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性---气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以---气经常被用来检漏。
其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测,通常为分子量较轻的气体，---气渗透漏孔， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定，通常为---气的，以---气为漏气体在欲侦测处到处喷---气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是---气检漏的原理。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。
为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。其中正压吸枪法采用检漏仪吸枪对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞，所以在元器件封装之后，就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 ---气检漏就是采用---气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为---原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10?11～10?12cm3/sec的小洞），灵敏度可与性检漏方法---，但要比性检漏方法简便。
---气检漏试验的方法：首先把封装好的元器件放入充满---气的容器中，并加压，让---气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留---气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的---气。
压---法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。
一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。真空压力法的检测标准有gb/t15823-2009<---泄漏检验>，主要应用于结构简单、压力不是---高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入---气，---气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐---气。器件加压压力和时间根据gb2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的---气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的---气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。
一般压---法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。
在填充检漏气体之前，有---快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。
如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么---气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。
