发布单位：北京科创鼎新真空技术有限公司 发布时间：2022-7-1
真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。
真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和真空系统中，应用较广。
为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
---压力合格，升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4pa·m3/s之间。检漏步骤为：
用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹---气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量---气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。
向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹---气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入---气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。真空腔体真空腔体是坚持内部为真空状态的容器，真空腔体的制造要考虑容积、材质和形状。
真空阀门出现断头螺栓的解决方法
1.锉方榫拧出法和管子钳拧出法，适用于螺栓在螺孔外有5mm以上高度的断头螺栓。
2.点焊拧出法适用于断头螺栓在螺孔外或断头螺栓与螺孔相平的条件下，它是由钻有比螺孔小的孔的扁钢制成，点焊填满孔后拧出。
3.方孔楔拧出法适用于断在螺孔内的螺栓，方法是先将螺栓中间钻一小孔，用方孔锥具敲人小孔中，然后拧出。
4.钻孔攻丝恢复法适用于无法取出螺栓的情况，它是先将真空阀门中螺栓断面整平，打样冲后，用比螺纹内径稍小的钻头钻孔，按原螺纹攻丝而成。
5.断头螺栓在采用以上拧出方法之前，应采取一些常规措施，如---浸透、清理表面油污锈迹(这点---对点焊的拧出法更重要，否则焊不牢)。要时，还可将真空阀门的螺栓周围加热，在热塑的条件下将螺栓拧出。对断头螺栓的拧出还可以采用化学腐蚀方法，适当清洗锈死和腐蚀的螺栓、螺孔，会加速断头螺栓的拧出(拧出螺栓后应用水冲洗螺孔，以免残存化学药剂腐蚀阀件)。加热器的选择也非常重要,一般选用安装方便的扣板式加热板进行内加热。
用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，---真空泵，法兰，阀门和管件等。外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏，现在已经生产zhc．1型仪表。该检漏仪表用zj．2电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话，可以检测到l0p的漏率。
