用---气作为---质谱检漏气体的原因

1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也

就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、---的小(相对分子为4)，易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

---质谱检漏仪

---质谱检漏方法比较多，根据被检件的测量目的可以分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法，要以被检器件的具体情况而定，灵活运用各种检漏方法。

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---检漏设备

负压法

负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行---气检漏时，---被连接到充满---气的瓶子中，并且使用喷将---喷射到泄漏部分。如果---气从泄漏孔流入压力容器装置，装置中---气的分压将上升，泄漏率将显示在---气检漏设备上。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率，将被视为不合格。