真空检漏的具体方法

---压力合格，升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4pa·m3/s之间。检漏步骤为：

用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹---气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量---气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹---气检查泄漏情况。当气体压力从10-2pa逐步升高时(真空度下降)，击穿强度逐步下降，以后又随气压的而。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入---气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。

真空腔体

电解抛光

电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。真空腔体的内壁外表吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。电化学抛光过程分为两步：（1）宏观整平 溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，ra>;1μm。（2）微光平整 阳极极化，表面光亮度提高，ra＜1μm 。

检测漏率问题

用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。使用介质的机械阻挠效果过滤尘土，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏，现在已经生产zhc．1型仪表。该检漏仪表用zj．2电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话，可以检测到l0p的漏率。

内漏和外漏怎样查?

内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象；机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀，具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉，2x一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0pa，150罗茨泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。