真空箱式---检漏设备 充气柜---检漏设备  环网柜检漏设备

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系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，---了系统的---性和可维护性。真空箱式---检漏设备适用对空腔电力工件进行---质谱检漏sf6充注，首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气，保压判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注---气，应用真空箱法进行---质谱气密性检测；然后将被检工件内的---气回收循环使用、充注sf6。全电脑控制，全自动检测，排除操作者人为因素导致的误判。类型2：不明显的液体泄漏对产品进行液体泄漏测试时，结果可能是产品不存在泄漏，但如果用示踪气体检漏法进行检测，就能够---地发现泄漏。自动判断，声光提示。

本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。

本设备适用对空腔电力工件进行---质谱检漏、sf6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注---气，应用真空箱法进行---质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的---气回收循环使用、充注sf6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。水检法这是zui简单的、原始的检漏方法，自行车胎就是采用此种方法。

主要技术参数及要求：

1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm

充---气压力：0.05mpa（可调）

2、 工作节拍：＜40分钟/件

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 ---气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6pa m3/s

(报警漏率设置1×10-7pam3/s时，应可检出)

6、 保压检测时间：（1-600s可调）

7、 工件真空≤1000pa

8、真空箱检漏真空≤20 pa

9、系统自身漏率：≤10-9 pa m3/s

10、箱门开关方式：自动

真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。

空调检漏设备

真空系统检漏中不论是采用哪种气泡检漏法，应用中需要注意：

1、示漏气体的种类与压力会影响检测灵敏度。

2、充入气体的压力还要考虑被检件的机械强度。

3、被检件检测前需要进行充分的清洁，同时要在充好气后再放入液体中，防止堵塞漏孔。

4、区分虚漏与真漏，被检件放入液体中，其表面的吸附气体可能形成气泡，需要与漏孔形成的气泡加以区分，须将这些气泡抹掉后再进行观察。

5、观察时需要---光线充足，液体清澈透明（皂膜法时尤其要注意皂液的稀稠度，过稀易流动滴落导致漏检，过稠易堵塞透明度差或形成气泡造成误检），观察背景要暗；同时被检件要稳，距离水面要近，并---水面平静。

真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记，并复查确认进行焊补，如果采用氢气作为示漏气体，要---注意安全。

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---质谱检漏仪的基本原理与结构

---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。不得有流痕，麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷，厚度50-80μm。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。1真空箱单元真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。