




半导体真空腔体市场近几年快速发展,越来越多的公司也表达了进入芯片领域的兴趣.以存储芯片为例,以前国内存储芯片完全靠进口,今年福建晋华集成电路的内存生产线有望投产,另外长江存储科技公司也在建设内存和闪存芯片生产线.格力、康佳等传统家电企业也表示,将进入芯片领域.
据国际半导体设备与材料协会报告显示,目前正在天津、西安、北京、上海等16个地区打造25个fab建设项目,福建晋华集成电路、长江存储科技公司等企业技术水平虽不及韩国,但均已投入芯片量产.报告预测,今年半导体设备市场规模有望达118亿美元,实现同比43.9%的增长,并且明年市场规模有望扩大至173亿美元,增长46.6%,大型真空腔体加工厂家,成为大市场.而同一时期内韩国的半导体设备市场规模从179.6亿美元减少至163亿美元,减幅为9.2%.---韩国成为很大半导体设备市场.

核聚变装置的10-4pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得真空的泵实现。根据不同功能特点,大型真空腔体加工,有3类低温泵安装在iter装置上。cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界---气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足iter装置的环境条件,大型真空腔体加工品牌,包括edwards和pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛,磁场容限增强型next400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构,导热基板的空气冷却结构,真空陶瓷引电和金属密封装置,以及耐辐射密封元件优化等多项新技术,天津大型真空腔体加工,实现了160mt磁场条件下---运行。
真空技术应用广泛,从现有的光学传感器、光刻机、低温恒温器、电子显微镜和xps光谱仪,到基于冷原子的便携式传感器、mems真空检测仪器、真空电子束智能增材制造系统等新兴领域。增材制造可大幅减少设备尺寸、重量和开发时间,从而加速基础研究和技术开发。通过激光粉床打印机制造一个利用磁光阱mot捕获冷原子的小型真空腔体,由铝合金alsi10mg制造。该系统经历120小时的120℃烘烤后,达到了低于1×10-10mbar的压力范围。装置对获的原子云进行荧光图像,包含多达2×108个---原子。增材制造的腔体的真空度优于5.0×10-9mbar,与常见的磁光阱真空腔体性能一致,见图1。这表明了增材工艺与真空腔体制造的适用性。

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