




并非所有的抽气时间延长、---压力下降都是因为泄漏,在使用检漏仪检漏前,有---了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。
真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物,在真空下持续的释放出气体,这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间,并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时,死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来,形成类似于放气或泄漏的现象,通常把这种现象叫做虚漏。
基板指的是一个大的法兰适配器,可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置,可连接到真空抽气系统。
脱气箱或者脱气室通常是腔体结构,一般带有铰链接口,可连接不需要高真空环境的其他装置,如塑料样品、---、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。
辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。
基地井整合了基板和真空密封颈,用焊接接头取代一个真空密封件,可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。
钟形罩由圆柱形的主体和一个半球形或球形的端口组成。可选材料包括玻璃、金属和塑料。标准钟形罩的直径是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。

1.真空阀门在旋转调整螺杆之前,应使阀进口压力降低到开启压力的 0.9以下,以防止旋转调整螺杆时阀瓣被带动旋转,以致损伤密封面。
2.安全阀出厂前,应逐台调整其开启压力到用户要求的整定值。若用户提出弹簧工作压力级,大型真空腔体加工,则一般应按压力级的下限值调整出厂。
3.使用者在将安全阀安装到被保护设备上之前或者在安装之前,须在安装现场重新进行调整,以---安全阀的整定压力值符合要求。
4.为---开启真空阀门中压力值准确,应使调整时的介质条件,非标真空腔体加工,如介质种类、温度等尽可能接近实际运行条件。介质种类改变,---是当介质聚积态不同时(例如从液相变为气相),半导体真空腔体加工,开启压力常有所变化。工作温度升高时,开启压力一般有所降低。故在常温下调整而用于高温时,常温下的整定压力值应略高于要求的开启压力值。高到什么程度与阀门结构和材质选用都有关系,应以制造厂的说明为根据。
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