一、真空封泥检测法
用真空泥封住的漏点，此时要注意观察真空度的改变，假如贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又有了显着的下降，这说明就是一个漏点哦。然而，这个办法在实际检测顶用的比较少
二、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用合适的气体或许液体做示漏物质，半导体真空腔体加工价格，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实际使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有---，---，酒精等，热偶计的反响比较慢，要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有---，酒精等。
维修应注意拆卸、清洁、检验、装配等环节。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，北京半导体真空腔体加工，不能蛮干，一定不能用大锤去敲；清洗零件时要干净、，以便于发现问题和查出---；真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手，应多加小心，切记。
真空阀门出现断头螺栓的解决方法
1.锉方榫拧出法和管子钳拧出法，适用于螺栓在螺孔外有5mm以上高度的断头螺栓。
2.点焊拧出法适用于断头螺栓在螺孔外或断头螺栓与螺孔相平的条件下，它是由钻有比螺孔小的孔的扁钢制成，点焊填满孔后拧出。
3.方孔楔拧出法适用于断在螺孔内的螺栓，方法是先将螺栓中间钻一小孔，用方孔锥具敲人小孔中，然后拧出。
4.钻孔攻丝恢复法适用于无法取出螺栓的情况，它是先将真空阀门中螺栓断面整平，打样冲后，半导体真空腔体加工，用比螺纹内径稍小的钻头钻孔，按原螺纹攻丝而成。
5.断头螺栓在采用以上拧出方法之前，半导体真空腔体加工多少钱，应采取一些常规措施，如---浸透、清理表面油污锈迹(这点---对点焊的拧出法更重要，否则焊不牢)。要时，还可将真空阀门的螺栓周围加热，在热塑的条件下将螺栓拧出。对断头螺栓的拧出还可以采用化学腐蚀方法，适当清洗锈死和腐蚀的螺栓、螺孔，会加速断头螺栓的拧出(拧出螺栓后应用水冲洗螺孔，以免残存化学药剂腐蚀阀件)。
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