




这是在工业装置上和生产过程中使用较多的检测仪。它可以安装在特定的检测点上,抽真空系统---检漏服务,对特定的气体泄漏进行检测。固定式检测器在工艺和技术上更适合于固定检测所要求的连续、长时间稳定等特点。当然,抽真空系统---检漏,它们同样要根据现场气体的种类和浓度加以选择,同时还要注意将它们安装在特定气体可能泄漏的部位,比如要根据气体的密度选择传感器安装的有效的高度等。

(1)吸质谱检漏,假定流量为300 sccm, 则检漏仪的真实本底为 q=pv*d(t)=2.5e-5mbarl/s,但行业中吸式都标准在常压情况下能测到e-7,是因为加入了软件滤波(抑零)等。
(2)真空法,---本底=分子泵抽速(辅助泵有则加上)*腔体内---浓度*入口处压力,有很多外部条件。

1.---气分子量小,扩散性强、渗透率高,即可以通过较小的孔。
2.---气在空气中的体积含量约为5ppm,这说明正常空气环境中---气的含量很小,即---本底---。
3.---气是---无色无味的惰性气体,北京抽真空系统---检漏,这就意味着,正常情况下其可以作为介质在所有的物体中存在,且不发生反应。
4.在质谱仪谱图中易于与其它物质区分。
5.综合以上几个特点,---气作为一种检漏的示踪气体,是较佳的选择。

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