硅片除气装置生产厂家-硅片除气装置-科创真空产品

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    2024-3-31

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真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;

 电源:380 v±38 v,50 hz±0.5 hz,硅片除气装置,约15kw(外部电源用户自备);

 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;

 环境温度:   5 ℃ ~ 35 ℃;

 相对湿度:  20%-85%;

 设备应安装在通风---的厂房内。




真空除气储存柜的使用

1、真空除气装置,真空除气炉报价,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,硅片除气装置价格,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,达到设定真空度时,硅片除气装置,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,硅片除气装置生产厂家,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)

2、真空度设定操作见操作说明书,用不到的功能禁止调整。

3、试验时间完成后,自动破空,破空完成后,方可开门取出产品。




真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现

一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。




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