天津镀膜机检漏公司-北京科创真空公司-真空箱式镀膜机检漏公司

---质谱检漏方法

---质谱检漏方法是基于---质谱检漏仪的---分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，真空镀膜机检漏公司，---和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入---质谱泄漏检测器后，由于---质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中---的分压信号。 在获得---气信号值的基础上，真空箱镀膜机检漏公司，通过标准的泄漏量比较，天津镀膜机检漏公司，可以得到---气的泄漏量。

---质谱检漏仪是否有精度级别一说？

所谓的精度终指向的是--测试---分压 （微观为个数，宏观则表现为在容器壁上的压力）（空气中5ppm---气）

（1）吸质谱检漏，假定流量为300 sccm， 则检漏仪的真实本底为 q=pv*d(t)=2.5e-5mbarl/s，但行业中吸式都标准在常压情况下能测到e-7，是因为加入了软件滤波（抑零）等。

（2）真空法，---本底=分子泵抽速（辅助泵有则加上）*腔体内---浓度*入口处压力，有很多外部条件。

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