---质谱检漏技术是在真空检漏技术领域里应用广泛的一种，这种检漏方法的优点是：检漏灵敏度高（可以检漏到10-12pa·m3/s数量级）、仪器响应快、操作简便、成本较低、用途广泛等，所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。
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（1）吸质谱检漏，---检漏生产厂家，假定流量为300 sccm，阀门---检漏生产厂家， 则检漏仪的真实本底为 q=pv*d(t)=2.5e-5mbarl/s，但行业中吸式都标准在常压情况下能测到e-7，是因为加入了软件滤波（抑零）等。
（2）真空法，---本底=分子泵抽速（辅助泵有则加上）*腔体内---浓度*入口处压力，有很多外部条件。
---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，槽车---检漏生产厂家，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。
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